EUV 光刻机：一束光如何造出芯片
跟着一束 13.5nm 的极紫外光，走进人类有史以来最精密的机器——从锡液滴等离子体到纳米级晶圆台。
Mav
01CH. 01
前言：你口袋里的奇迹
为什么一台机器值得写一整本书？从你每天触摸的芯片说起。
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02CH. 02
芯片制造全景：光刻机在干什么
从晶圆厂到千道工序，理解光刻在芯片制造中的位置。
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03CH. 03
EUV 光源：用激光轰击锡液滴
13.5nm 的光在自然界不存在。要造出它，需要激光、锡液滴和等离子体。
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04CH. 04
照明系统与光罩：芯片设计图怎么读取
EUV 光被整形成特定模式，照射到价值 30 万美元的光罩上，读取芯片设计。
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05CH. 05
投影光学与晶圆台：纳米精度的运动控制
蔡司的镜组把图案缩小 4 倍投射到晶圆上，磁悬浮平台以 1 纳米精度定位。
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06CH. 06
从曝光到芯片：图案怎么变成真实结构
光刻胶上的图案只是临时模板——显影、刻蚀、离子注入、金属沉积，才把它变成真正的芯片。
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07CH. 07
极限与未来：光刻的天花板在哪里
High-NA、多重图案化、Hyper-NA——EUV 还能走多远？
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